SBB/GBB ROOM

• Size : 8000 × 8000 × 8000
• 圧力 : 2.0kgf~7.5kgf

SBB/GBB ROOM

• Size : 8000 × 8000 × 8000
• 圧力 : 2.0kgf~7.5kgf

電解槽及び 中和槽

• Size : 6000 × 8000 × 5000 / 各
• 容量 : 192,000ℓ / 各

整流器

• 容量 : 12V × 10,000A × 3

純水製造機

• 容量 : 18MΩ·cm

乾燥炉1

• Size : 6000 × 8000 × 6150
• 温度 : 100°C

乾燥炉2

• Size : 8000 × 8000 × 6000
• 温度 : 200°C

精密洗浄室

IC分析機器 (ECO IC)